弹性表面波装置

摘要

提供抑制无用波引起的频率特性的降低的弹性表面波装置。弹性表面波装置（1）具备：压电基板（21）、形成于压电基板（21）上的IDT电极（22）、第1电介质层（23）、和第2电介质层24。第1电介质层（23）形成于压电基板（21）上。第1电介质层（23）由氧化硅构成。第2电介质层（24）形成于第1电介质层（23）上。第2电介质层（24）具有高于第1电介质层（23）的声速。弹性表面波装置（1）还具备第3电介质层（25）。第3电介质层（25）形成于第1电介质层（23）和压电基板（21）之间。第3电介质层（25）覆盖压电基板（21）的表面（21a）和IDT电极（22）的上表面（22a）以及侧面（22b、22c）。

主权项

一种弹性表面波装置，具备：压电基板；IDT电极，其形成于所述压电基板上；第1电介质层，其形成于所述压电基板上，由氧化硅构成；第2电介质层，其形成于所述第1电介质层上，具有高于所述第1电介质层的声速，其中，所述弹性表面波装置还具备：第3电介质层，其形成于所述第1电介质层和所述压电基板之间，覆盖所述压电基板的表面、和所述IDT电极的上表面以及侧面。