高压电泳试剂丙酮的制备方法

摘要

本发明涉及在CMOS硅整流器件的电泳法玻璃钝化工艺中使用的一种高压电泳试剂丙酮的制备方法。首先将原料丙酮通过一根装有3A分子筛及无水碳酸钾的层析柱进行吸附处理；再将丙酮移入蒸馏釜内，加热至沸腾，然后进行蒸馏，填料为拉西环或不锈钢θ网环，收集在55～57℃间的丙酮馏出液；最后将丙酮馏出液通过0.2μm孔径的有机过滤膜进行过滤，过滤膜材质为聚酰胺或聚四氟乙烯膜。采用该方法制备的丙酮，有效地去除掉影响玻璃粉粒子双电层组成和Zeta电位的有害金属离子杂质。配制成的电泳液，介电损耗小，表观电导及电泳淌度易于调控。玻璃粉粒子可在硅衬底上自动形成均匀敷层，使器件PN结沟槽玻璃钝层厚度一致，制成器件的反向电性能稳定。

主权项

一种高压电泳试剂丙酮的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（一）、将原料丙酮通过一根装有3A分子筛及无水碳酸钾的层析柱进行吸附处理；（二）、再将吸附处理后的丙酮移入蒸馏釜内，加热至沸腾，并通过填料蒸馏塔进行蒸馏，填料为拉西环或不锈钢θ网环，收集在55～57℃间的丙酮馏出液；（三）、将蒸馏合格的丙酮馏出液通过0.2μm孔径的有机过滤膜进行过滤，过滤膜材质为聚酰胺或聚四氟乙烯膜。