扫描隧道纳米级精度测量仪

摘要

本发明涉及一种扫描隧道纳米级精度测量仪，主要由精密尺(1)、深度尺(2)、内外径尺(3)、卡尺(4)、外径指针(5)、内经指针(6)、深度指针(7)、外径卡(8)、内径卡(9)、绝缘体(10)、探针(11)、有序原子板(12)、电源(13)、开关(14)和计算机(15)组成。本发明的使用分宏观测量和微观测量两步，将它们的测量值相加就为测量结果。宏观测量精度只能达到毫米。微观测量需用探针(11)扫描有序原子板(12)上整齐均匀排列的原子，同时计算机(15)将记录被扫描原子的数目，并将该数与相应原子的直径相乘就得出微观测量的结果，其精度能够达到纳米。本发明测量精度高，操作方便，安全可靠。

主权项

一种扫描隧道纳米级精度测量仪，主要由精密尺(1)、深度尺(2)、内外径尺(3)、卡尺(4)、外径指针(5)、内经指针(6)、深度指针(7)、外径卡(8)、内径卡(9)、绝缘体(10)、探针(11)、有序原子板(12)、电源(13)、开关(14)和计算机(15)组成，其特征是需要使用扫描隧道显微镜扫描原子的工作原理和计算机来记录有序原子板(12)上被扫描的原子数。