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Ein TEM-Probe-Vorbereitungsverfahren enthält: Platzieren von einer dünnen Probe derart auf einen Probenhalter, dass eine erste Seitenfläche der dünnen Probe, welche näher an einem gewünschten Beobachtungsziel ist, einer fokussierten Ionenstrahlsäule gegenüber liegt; Einstellen eines Verarbeitungsbereichs, welcher einer Ätzverarbeitung durch einen fokussierten Ionenstrahl zu unterwerfen ist, um somit einen Dünnfilmabschnitt auszubilden, welcher das Beobachtungsziel enthält und eine Dickenrichtung hat, welche im Wesentlichen parallel zu einer Dickenrichtung von der dünnen Probe ist, auf einen Bereich der ersten Seitenfläche, welche an dem Dünnfilmabschnitt angrenzt; und Durchführen der Ätzverarbeitung auf einen Abschnitt der dünnen Probe, welcher sich von der ersten Seitenfläche davon zu einer Vorderfläche davon erstreckt, durch Bestrahlen des Verarbeitungsbereichs mit dem fokussierten Ionenstrahl von der fokussierten Ionenstrahlsäule.
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