薄膜制造装置及制造方法

摘要

〔课题〕提供一种可再现配合镀膜条件的温度控制可;能的喷洒头、良好的膜厚分布、组成分布、镀膜率，且碎片数少，长期且安定地进行连续镀膜可能的生产性、量产性优秀的薄膜制造装置及制造方法。;〔解决手段〕使喷洒头构造组装于镀膜槽的上盖，藉;由在上盖设置热交换手段温度控制上盖，在构成喷洒头表面的喷洒板及上盖的接触面进行热交换，配合镀膜条件将喷洒头温度控制可能。将此喷洒头设置于镀膜槽的薄膜制造装置，使用此装置制造薄膜。