内板以及具有此内板用于沉积之坩锅组件

摘要

本发明提供一种用于沈积之坩锅组件及一种用于该坩锅组件中的内板。该坩锅组件包括：一主体，其具有一容纳一沈积材料之内部空间及一配置于该内部空间之一上部部分处的开口；一罩盖，其具有一配置于该主体之一顶部处的孔隙且与该主体结合；及一内板，其配置于该主体与该罩盖之间，该内板覆盖该主体之该开口，该坩锅组件包括若干内部通道，其经配置以使来自该主体之该内部空间的沈积材料之蒸气可经由一配置于该内板之一外侧表面与该罩盖之一内侧表面之间的空间排至该罩盖中之该孔隙的外侧。