透射电镜样品承载装置

摘要

本实用新型提供一种透射电镜样品承载装置，该装置包括承载部分和金属电极，所述承载部分上设置有通孔、卡槽、金属片/层等结构，可以承载大小和微栅大小相当，厚度在500um内的样品，在固定样品基片的同时，还能使检测探针从通孔处方便地移至样品边缘对样品进行弯曲、修饰、改变接触等操作，并通过透射电子显微镜进行观察；所述的金属电极可以和样品中的纳米器件的源、漏、栅极相连，通过使用外接电源和仪表，原位测量纳米电子器件；承载部分的金属片/层还能有效消除静电干扰。

主权项

一种透射电镜样品承载装置，其特征在于，包括承载部分和金属电极，所述承载部分一侧开有通孔，金属电极位于承载部分的另一侧和/或上/下侧。