发明名称
摘要 <p>Provided is a surface protecting adhesive tape for use in semiconductor processing, having an adhesive layer on a substrate, wherein the adhesive tape has a probe tack force B of 0.08 to 0.20 (MPa), and a ratio C (A/B) of an adhesive force A (N/25mm) of the adhesive tape to the probe tack force B (MPa) thereof is 10 (N/25mm/MPa) or more.</p>
申请公布号 JP5255717(B1) 申请公布日期 2013.08.07
申请号 JP20120118040 申请日期 2012.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;C09J7/02;C09J133/08 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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