通过磷化铝水解制备磷烷的装置

摘要

本实用新型涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种通过磷化铝水解制备磷烷的装置。通过磷化铝水解制备磷烷的装置，包括箱体，所述箱体一侧壁上部设有出气口，另一侧壁底部设有出气口，所述箱体内侧底部连接有气体分配板，在所述箱体上方设有至少一个药筒，所述药筒内连接有活塞，所述药筒底部设有出液口。本实用新型用于电子特种气体的过程中。

主权项

通过磷化铝水解制备磷烷的装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体一侧壁上部设有出气口，另一侧壁底部设有出气口，所述箱体内侧底部连接有气体分配板，在所述箱体上方设有至少一个药筒，所述药筒内连接有活塞，所述药筒底部设有出液口。