一种高致密低电阻ITO靶材的微波掺杂烧结方法

摘要

本发明公开了一种ITO微波掺杂烧结的方法，通过金属氧化物和氮化物的掺杂，并借助微波烧结法制备高致密、低电阻的ITO靶材，包含如下的工艺条件：以聚乙烯醇缩丁醛（PVB）作为粘结剂，粘结剂的作用是改善粉末在压制过程的成形性能，提高压坯强度，防止样品脱模后开裂,得到相对密度在95%到99%之间电阻率在2.0×10-4Ω·cm到3.5×10-4Ω·cm之间的ITO靶材目标产品。与现有技术相比，本方法获得的产品致密度高、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀。所用的工艺不需要通氧气，提高了工业生产的安全性，并且所需设备简单，降低了生产成本。

主权项

一种高致密低电阻ITO靶材的微波掺杂烧结方法，通过金属氧化物和氮化物的掺杂经微波烧结法制备ITO靶材,包含如下的工艺步骤：（1）粘结剂配制，用聚乙烯醇缩丁醛加入在无水乙醇,搅拌溶解后得到质量浓度8%的聚乙烯醇缩丁醛粘结剂；（2）掺杂物和ITO粉末按一定的比例构成混合粉末放入球磨罐中，并按1g（混合粉末）/4ml（无水乙醇）加入无水乙醇球磨4h;待粉末和无水乙醇混合均匀后，按3g（混合粉末）/8ml（粘结剂）向球磨罐中加入（1）所得粘结剂，继续球磨8h使粘结剂和粉末混合均匀；（3）将（2）获得的将球磨后的粉末在120℃的烘箱中烘干并研磨；将研磨后的粉末放入直径为20mm的模具中加压成形，加载压力为300MPa；将成形后的压坯在500℃的马弗炉中煅烧2h除去粘结剂；最后，在空气气氛下将除去粘结剂的压坯在2.45GHZ，700W的微波炉中烧结25min，得到相对密度在95%到99%之间，电阻率在2.0×10‑4Ω·cm到3.5×10‑4Ω·cm之间的ITO靶材目标产品。