发明名称 |
掩膜壳体、掩膜盒、图案转录方法及显示装置的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种掩膜壳体,该掩膜壳体(1)是一种可运送地收置光掩膜(10)和掩膜盒(100)的掩膜壳体,具备掩膜保持部件(4)和盒保持部件(5),当从掩膜盒(100)中取出光掩膜(10)时,以光掩膜(10)被设置于掩膜盒(100)的状态取出。 |
申请公布号 |
CN101152919B |
申请公布日期 |
2013.07.31 |
申请号 |
CN200710163007.5 |
申请日期 |
2007.09.28 |
申请人 |
HOYA株式会社 |
发明人 |
井村和久 |
分类号 |
B65D85/00(2006.01)I;B65D85/30(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I;G03F1/66(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I |
主分类号 |
B65D85/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
一种掩膜壳体,可运送地收置光掩膜、和掩膜盒,该掩膜盒在搭载所述光掩膜来使用的装置中使用,并载置所述光掩膜来使用,其中: 该掩膜壳体具备: 以让所述光掩膜与所述掩膜盒为非接触的状态保持所述光掩膜的掩膜保持部件; 保持所述掩膜盒的盒保持部件; 设置了所述掩膜保持部件和盒保持部件的壳体主体;以及, 可自由拆装地装配于该壳体主体上并覆盖所述光掩膜的壳体盖, 当从所述掩膜壳体中取出所述光掩膜时,使所述掩膜盒沿规定方向移动后,让所述光掩膜被载置于所述掩膜盒。 |
地址 |
日本东京都 |