制备太阳能电池的电热丝辅助化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及制备太阳能电池的电热丝辅助化学气相沉积装置，包括真空室（1），在真空室（1）上设有真空泵（2）和混合管道（3），在混合管道（3）的端部连接上电极板（4），上电极板（4）连接射频电源（6），在上电极板（4）的下方设有与其平行的下电极板（5）。在上电极板（4）和下电极板（5）之间设有电热丝辅助装置（20）。本实用新型的优点：本装置在一个真空室中实现了电热丝分解和等离子体化学气相沉积技术两种方法的优点。并且本装置提供的60度菱形的电热丝组结构可以实现在一定面积范围的镀膜均匀性，在用于制备电池时，不仅能减少界面的损伤，还可以提高电池的光电转换效率。

主权项

制备太阳能电池的电热丝辅助化学气相沉积装置，包括真空室（1），在真空室（1）下面连接真空泵（2），在真空室（1）的上部设有气体混合管道（3），气体混合管道（3）的下端伸入真空室（1）的内部，在气体混合管道（3）的下端连接上电极板（4），上电极板（4）连接射频电源（6），在真空室（1）内上电极板（4）的下方相距一段距离设有与其平行的下电极板（5），下电极板（5）接地，在上电极板（4）与下电极板（5）之间设有可移动的挡板（14）和电热丝辅助装置（20），电热丝辅助装置（20）连接在真空室（1）内，其特征在于：所述的电热丝辅助装置（20）上的水平旋转杆（12）通过真空法兰（19）连接在真空室（1）上。