自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置

摘要

自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的五轴联动数控机床的绝缘工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬；将待加工光学零件装卡在地电极上；大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬分别对待加工光学零件待加工表面进行大气等离子体数控加工。本发明能采用不同类型的等离子体炬进行大气等离子体加工。

主权项

自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置，其特征在于它由大口径的等离子体炬（1）、中口径的等离子体炬（2）、小口径的等离子体炬（3）、五轴联动数控机床（4）、射频电源（5）、混合等离子体气源（7）组成；五轴联动数控机床（4）的绝缘工作架（4‑1）上安装有大口径的等离子体炬（1）或中口径的等离子体炬（2）或小口径的等离子体炬（3），大口径的等离子体炬（1）或中口径的等离子体炬（2）或小口径的等离子体炬（3）可与射频电源（5）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；将待加工光学零件（6）装卡在地电极（4‑2）上，地电极（4‑2）固定在五轴联动数控机床（4）的水平运动工作台（4‑3）上；将地电极（4‑2）接地作为大气等离子体放电的阴极；当绝缘工作架（4‑1）上安装有大口径的等离子体炬（1）时，大口径的等离子体炬（1）的进气端口（1‑1）可通过绝缘工作架（4‑1）上的导气孔（4‑4）、气管（7‑1）与混合等离子体气源（7）导气连通；当绝缘工作架（4‑1）上安装有中口径的等离子体炬（2）时，中口径的等离子体炬（2）的进气端口（2‑1）可通过绝缘工作架（4‑1）上的导气孔（4‑4）、气管（7‑1）与混合等离子体气源（7）导气连通；当绝缘工作架（4‑1）上安装有小口径的等离子体炬（3）时，小口径的等离子体炬（3）的进气端口（3‑2）可通过绝缘工作架（4‑1）上的导气孔（4‑4）、气管（7‑1）与混合等离子体气源（7）导气连通；大口径的等离子体炬（1）的放电工作面或中口径的等离子体炬（2）的放电工作面或小口径的等离子体炬（3）的放电工作面靠近待加工光学零件（6）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为2mm‑5mm。