| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING A PHOTOMASK ON A PHOTOPOLYMERIC SURFACE |
| 摘要 |
A process is provided for printing a high resolution pattern on a photopolymeric surface. |
| 申请公布号 |
EP2391924(B1) |
申请公布日期 |
2013.07.24 |
| 申请号 |
EP20100704601 |
申请日期 |
2010.01.27 |
| 申请人 |
DIGIFLEX LTD. |
发明人 |
FRENKEL, MOSHE;MAZUZ, YACOV;BEREZIN, OLEG;IVANOVA, NATALIA |
| 分类号 |
G03F7/20;B41C1/10;G03F1/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
