研磨附聚物抛光方法

摘要

本发明提供一种抛光方法，其包含：提供一工件、提供一固定研磨物件、提供修整颗粒、且在该等修整颗粒存在下相对地移动该工件及该固定研磨物件，以便修改该工件之表面且修整该固定研磨物。该固定研磨物件包含一具有第一表面之基板及一分布于该基板之该第一表面上的研磨复合物的区域。该等研磨复合物包括一复合黏合剂及可连同一基质材料处于研磨附聚物中的研磨颗粒。该等研磨颗粒比该工件硬。该等修整颗粒足以修整该复合黏合剂、基质材料及研磨附聚物之一或多个。该等修整颗粒之硬度小于该工件之硬度，且不实质地抛光该工件。