Polierzusammensetzung und Spülzusammensetzung

摘要

Eine Polierzusammensetzung für einen Siliciumwafer und eine Spülzusammensetzung für einen Siliciumwafer gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ein nichtionisches grenzflächenaktives Mittel eines Polyoxyethylenaddukts. Der HLB-Wert des Polyoxyethylenaddukts beträgt 8 bis 15. Das gewichtsgemittelte Molekulargewicht des Polyoxyethylenaddukts beträgt 1400 oder weniger. Die durchschnittliche Anzahl von Molen von Oxyethylen, welche zu dem Polyoxyethylenaddukt zugegeben wird, beträgt 13 oder weniger. Der Gehalt des Polyoxyethylenaddukts in jeder der Polierzusammensetzung und der Spülzusammensetzung beträgt 0,00001 bis 0,1 Masse-%.