用于高流速真空起泡器容器的防溅器

摘要

本发明涉及一种贮存器，其具有：浸管入口；至少一个挡盘，其定位在该浸管的出口和该贮存器的出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间，以防止液滴进入该贮存器的出口和其侧壁的内表面；以及在该侧壁上的径向向内伸出的环状的偏转突出部，其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。本发明设想液体输送和蒸汽输送。

主权项

一种贮存器，具有：终止在所述贮存器底部邻近处的浸管入口；配置为浅的向下开口的圆锥体的至少一个挡盘，其定位在所述浸管的出口和所述贮存器的出口之间，被配置成在所述挡盘和所述贮存器侧壁的内表面之间提供狭窄的环状空间；在所述侧壁上的径向向内伸出的环状的偏转突出部，其邻近所述挡盘；所述挡盘和所述偏转突出部能够使液滴进入贮存器出口减至最少；具有轴向间隔地设置在所述偏转突出部的最内边缘下方的径向向内伸出的环状边缘的肩部；以及终止在所述贮存器底部附近的液面传感器，所述贮存器能够具有高于液面探测末端的液面水平。