发明名称 ISOTOPE ION MICROSCOPE METHODS AND SYSTEMS
摘要 Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, an isotope of Neon is used.
申请公布号 US2013175444(A1) 申请公布日期 2013.07.11
申请号 US201313783534 申请日期 2013.03.04
申请人 NOTTE, IV JOHN A.;SIJBRANDIJ SYBREN;CARL ZEISS NTS, LLC 发明人 NOTTE, IV JOHN A.;SIJBRANDIJ SYBREN
分类号 H01J37/285;H01J37/317 主分类号 H01J37/285
代理机构 代理人
主权项
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