缺陷检查负载统计系统及方法

摘要

本发明公开了一种缺陷检查负载统计系统及方法，该方法包括如下步骤：利用缺陷检测机台检测缺陷信号；通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录；对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；于该缺陷检测系统正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台；连接至相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；查询缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果，本发明可解决目前缺陷检测系统不能够方便准确的统计缺陷检查机台的负载的问题。

主权项

一种缺陷检查负载统计系统，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，至少包括：缺陷检测模组，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；导出模组，通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息；再次检测模组，用于对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；KLA/图片文件生成及传输模组，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；备份模组，于该缺陷检测系统正确导入数据时将相应的文件备份到相应机台；获取模组，连接到相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；解析模组，根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；查询模组，根据解析出的信息，查询该缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果。