发明名称 |
一种宽检测范围的磁传感器件 |
摘要 |
本发明公开了一种磁传感器件,包括活性层、金属电极层和保护层,活性层为在基片上形成的纳米晶Fe2.95La0.05O3磁性材料,金属电极层与活性层接触,保护层直接覆盖活性层。该器件工作温度在2K到500K(即-271℃到227℃)范围内,电阻率在250μΩcm到3500μΩcm范围内。在2K到500K的工作温度范围内,样品的线性度小于千分之二,磁场线性度保持在-7kOe到7kOe范围内。本发明解决了传统的半导体磁传感器件体积大、工作温度范围窄、导电性差等问题。 |
申请公布号 |
CN103199191A |
申请公布日期 |
2013.07.10 |
申请号 |
CN201310061194.1 |
申请日期 |
2013.02.28 |
申请人 |
溧阳市生产力促进中心 |
发明人 |
梅欣;张俊 |
分类号 |
H01L43/08(2006.01)I;H01L43/10(2006.01)I;H01F1/01(2006.01)I |
主分类号 |
H01L43/08(2006.01)I |
代理机构 |
南京天翼专利代理有限责任公司 32112 |
代理人 |
黄明哲 |
主权项 |
一种宽检测范围的磁传感器件,包括活性层、金属电极层和保护层,其特征在于,活性层为在基片上形成的纳米晶Fe2.95La0.05O3磁性材料;金属电极层与活性层接触;保护层直接覆盖活性层;活性层的厚度为4~400纳米,优选为8~350纳米,更优选10~200纳米。 |
地址 |
213300 江苏省常州市溧阳市东大街182号 |