| 发明名称 | 全自动胶膜涂覆、显影装置 | ||
| 摘要 | 本发明属于IC及LED技术领域，具体地说是一种全自动胶膜涂覆、显影装置。包括机器人、盒站、独立对中单元及晶片处理单元，其中盒站位于独立对中单元的上方，所述机器人位于装置的中心，所述盒站及晶片处理单元安装在机器人的周围，所述机器人通过机械手将晶片送到周围的各晶片处理单元上。本发明通过调整功能单元的配比，实现单台设备产能的最大化，通过软件配方调整，可实现单台设备功能的最大化，能大幅减少客户的资金投入。 | ||
| 申请公布号 | CN103199031A | 申请公布日期 | 2013.07.10 |
| 申请号 | CN201210001047.0 | 申请日期 | 2012.01.04 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 王冲 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 白振宇 |
| 主权项 | 一种全自动胶膜涂覆、显影装置，其特征在于：包括机器人(5)、盒站(11)、独立对中单元(10)及晶片处理单元，其中盒站(11)位于独立对中单元(10)的上方，所述机器人(5)位于装置的中心，所述盒站(11)及晶片处理单元安装在机器人(5)的周围，所述机器人(5)通过机械手将晶片送到周围的各晶片处理单元上。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||