| 摘要 |
[课题]对于基板之纵方向与横方向，在平行平板的厚度、曲率、间隔之任何一种都不改变状态下，能以任意倍率来纵横变更倍率。;[解决手段]来自光照射部1的光，介由遮罩2、投影倍率变更机构10、投影透镜3而照射至被载置于工件平台4之基板等之工件5上，遮罩的图案影像被投影于工件5上而被曝光。投影倍率变更机构10系由：弯曲为二次曲面状或圆筒面状之相同厚度、具有相同曲率之2片平行平板10a、10b、及以光轴为旋转轴，使平行平板10a、10b于左右相反方向于相同角度范围内旋转之θ平台11a、11b、θ平台驱动机构12所构成。藉由使2片平行平板10a、10b如前述般旋转，可以在不改变平行平板的厚度、曲率、间隔之其中任一之情况下，对于基板的纵方向与横方向，能以任意的倍率来进行纵横倍率变更。 |
