阴极放电装置

摘要

本案系提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、一阴极以及复数个阴极腔室。其中该阴极位于该阳极内，该阴极内部具有复数个气体流道及至少一流道通孔，其中该复数个气体流道经由该流道通孔相通；该复数个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，每一该阴极腔室经由该腔室气体入口与该气体流道相通。