悬架用基板、悬架、带磁头的悬架和硬盘驱动器、以及悬架用基板的制造方法

摘要

本发明的课题是，使层叠的布线层之间的绝缘层的表面的平坦性提高、使布线层中的阻抗稳定。悬架用基板（1）具有：金属基板（20）、设于金属基板（20）上的第1绝缘层（22）、设于第1绝缘层（22）上的第1布线层（10）、设于第1绝缘层（22）及第1布线层（10）上的第2绝缘层（24）、和设于第2绝缘层（24）上的第2布线层（12）。第2布线层（12）由保护层（26）覆盖。在将第1布线层（10）的厚度和第1布线层（10）上的第2绝缘层（24）的厚度的合计设为T1、将在距第1布线层（10）预定距离、第2绝缘层（24）的表面成为平坦的位置的第2绝缘层（24）的厚度设为T2时，满足T1－T2＜4.5μm。

主权项

一种悬架用基板，其特征在于，包括：金属基板；设于所述金属基板上的第1绝缘层；设于所述第1绝缘层上的第1布线层；设于所述第1绝缘层及所述第1布线层上的第2绝缘层；和设于所述第2绝缘层上的第2布线层，在将所述第1布线层的厚度和所述第1布线层上的所述第2绝缘层的厚度的合计设为T1，将在距所述第1布线层预定距离、所述第2绝缘层的表面成为平坦的位置的所述第2绝缘层的厚度设为T2时，满足T1－T2＜4.5μm。