包含稠合芳族环的抗反射涂料组合物

摘要

本发明涉及包含聚合物的有机可旋涂抗反射涂料组合物，该聚合物包含至少一个在聚合物主链中的含3个或更多个稠合芳族环的单元和至少一个在聚合物主链中的含脂族结构部分的单元。本发明进一步涉及使本发明组合物成像的方法。

主权项

包含聚合物的有机可旋涂抗反射涂料组合物，该聚合物包含至少一个在聚合物主链中的含3个或更多个稠合芳族环的单元和至少一个在聚合物主链中的含环脂族结构部分的单元，其中所述3个或更多个稠合芳族环直接与所述环脂族结构部分连接。