| 发明名称 | 晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置，所述的晶圆清洗刷，包括弹性刷筒、弹性刷头以及刷轴，所述弹性刷筒套设于所述刷轴的外侧，所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干所述弹性刷头。由于弹性刷筒具有良好的收缩性，且所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干弹性刷头，当外圆周表面的弹性刷头磨损后，可以将弹性刷筒内外翻过来重新套设于刷轴上，使得内圆周表面的弹性刷头位于外侧，从而可以提高弹性刷筒的使用寿命，降低材料成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203018351U | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201220748957.0 | 申请日期 | 2012.12.31 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 唐强;汪坚俊;施成;李佩;马智勇 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆清洗刷，其特征在于，包括弹性刷筒、弹性刷头以及刷轴，所述弹性刷筒套设于所述刷轴的外侧，所述弹性刷筒的内、外圆周表面分别设有若干所述弹性刷头。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||