文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法

摘要

本发明涉及一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，包括将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化、使雾滴覆盖反应气流通面、反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相、将气液混合相分离、气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器等步骤。本发明解决了现有冷氢化工艺除尘方法不成熟的技术问题，满足了冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求，同时降低了反应气的温度、立式安装，具有结构简单、紧凑、占地面积小、维护少、运行稳定的优点。

主权项

一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，其特征在于：包括以下步骤：1】将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2】使雾滴覆盖反应气流通面；3】反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相；4】将气液混合相分离；5】气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。