复合氧化物烧结体及包含其之溅镀靶材

摘要

本发明提供一种复合氧化物烧结体，其含有In、Zn及Sn，烧结体密度以相对密度计为90%以上，平均结晶粒径为10μm以下，体电阻为30mΩcm以下，直径10μm以上之氧化锡之凝聚粒子数系每1.00mm2为2.5个以下。