形成电浆之装置及方法

摘要

本发明揭示一种用于处理自半导体制程工具排出之废气流的装置。该装置包括一用于自一惰性可离子化气体产生辉光放电之电浆火炬。该气流被运送至辉光放电以点火击发一电浆。一电磁辐射源向废气流提供电磁辐射以维持该电浆。该装置特别适于处理废气流中之全氟化合物及氢氟碳化合物。