| 摘要 |
本发明提供一种有机EL显示装置及其制造方法。其系在形成于电路基板101之电路形成部102上形成有有机EL元件部1000。有机EL元件部1000系藉由包含SiNxOy膜之保护层113所覆盖。SiNxOy系具有如下之红外吸收特性，即，Si-O-Si伸缩振动吸收峰存在于较1000cm-1之低能量侧，存在于约870cm-1附近之Si-N伸缩振动吸收峰之吸收强度，系前述Si-O-Si伸缩振动吸收峰之吸收强度之0.75倍以上，2000~4000cm-1区域中之吸收峰之强度系前述Si-N伸缩振动吸收峰之吸收强度之5%以下。藉此可以得到具有优越之水分阻止特性之保护膜，可以提高有机EL显示装置之寿命特性。 |
