直拉单晶炉热场装置

摘要

一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体及设置于炉体内部的坩埚、加热器及保温机构，加热器及保温机构依次环绕坩埚设置，还包括与炉体外部相连通的排气机构，排气机构嵌设于保温机构内。本实用新型直拉单晶炉热场装置在保温机构内嵌设排气机构，避免了挥发物聚集，降低了晶体中氧含量，可减少碳扩散入晶体中；减少了挥发物对热场部件的侵蚀，延长了热场部件的使用寿命，避免了挥发物因受冷沉积于排出路径，有利于排出挥发物并减轻清洗难度。

主权项

一种直拉单晶炉热场装置，包括炉体（11）及设置于炉体（11）内部的坩埚（12）、加热器（13）及保温机构（14），所述加热器（13）及保温机构（14）依次环绕所述坩埚（2）设置，其特征在于，还包括与所述炉体（11）外部相连通的排气机构（16），所述排气机构（16）嵌设于所述保温机构（14）内。