发明名称 电化学和固体硫化法在基片上制备CuInS<sub>2</sub>的方法
摘要 本发明涉及一种采用常规电化学方法:在Ni基片上先后生长成薄的铜层和铟层,然后加热150~320℃进行30~40min的合金化和固体硫化处理,最终得到CuInS2薄膜。通过用X射线衍射图谱和矿物(PDF)卡比较,有CulnS2薄膜呈黄铁矿结构相特征衍射峰。CuInS2薄膜组分的摩尔比即S/(Cu+In)为2~2.5。它为P型导电类型的深褐色的CuInS2薄膜。该方法操作简单,绿色环保,易于实现工业化生产。
申请公布号 CN102368512B 申请公布日期 2013.06.19
申请号 CN201110362187.6 申请日期 2011.11.16
申请人 上海大学 发明人 于丹阳;汪振中;沙金
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I;C25C1/22(2006.01)I;C23C8/62(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人 顾勇华
主权项 一种电化学和固体硫化法在基片上制备CuInS2薄膜的方法,其特征在于该方法具有以下的工艺过程和步骤:a.将纯度99.9~99.99 % 衬底Ni基片和99.999%Cu片放置到0.78~0.80M的CuSO4和0.046~0.048M H2SO4混合溶液中,使用YJ63直流稳压稳流电源通电流20~30mA ,经40~60秒,制备前期样片;b.将纯度99.9~99.99%In片和上述前期样片放置到0.086~0.088M的In2(SO4)3和0.030~0.032M 的Na2SO4混合溶液中,用电化学方法在15~35℃温度下,通电流10~20mA ,经60~80秒,制备得CuIn薄膜样片;c.将上述制备出的CuIn样片和99.5%的粉末S放入箱式电炉中,加热150~320℃,进行30~40min的合金化和固体硫化处理,最终在Ni基片制得CuInS2薄膜。
地址 200444 上海市宝山区上大路99号