| 发明名称 | 一种紫外LED照明装置 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种照明装置，其特征在于：包括位于同一光轴上的光源、耦合透镜、积分棒、中继透镜组、掩模板、物镜、基板；所述光源为至少一组LED阵列。其中，所述LED阵列组为一个LED阵列和一个耦合透镜。本发明的用于光刻投影光学系统的照明装置，结构简单，并能实现基板上较高的照度和较大的曝光视场。 | ||
| 申请公布号 | CN103163739A | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201110416805.0 | 申请日期 | 2011.12.14 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 陈璐玲;张祥翔 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;F21V5/04(2006.01)I;F21Y101/02(2006.01)N | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种照明装置，其特征在于：包括位于同一光轴上的光源、耦合透镜、积分棒、中继透镜组、掩模板、物镜、基板；所述光源为至少一个LED阵列组。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||