| 发明名称 | 一种带有压力膜的谐振梁压力传感器 | ||
| 摘要 | 一种带有压力膜的谐振梁压力传感器，包括衬底，在衬底和谐振梁中间的衬底上设有压力膜，本发明能够实现梁膜一体化，生产是一次健合即可，制作工艺简单。 | ||
| 申请公布号 | CN103162871A | 申请公布日期 | 2013.06.19 |
| 申请号 | CN201110431615.6 | 申请日期 | 2011.12.15 |
| 申请人 | 西安威正电子科技有限公司 | 发明人 | 刘江辽;谢庆雄 |
| 分类号 | G01L1/10(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 贺建斌 |
| 主权项 | 一种带有压力膜的谐振梁压力传感器，包括衬底(1)，其特征在于：在衬底(1)和谐振梁(3)中间的衬底(1)上设有压力膜(2)。 | ||
| 地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业路69号C区1号瞪羚谷B栋6层 | ||