发明名称 Non-contact Plate Transferring Device
摘要 본 발명은 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하고 평판의 결함을 정확하게 검출할 수 있으며 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 제품의 불량률을 최소화함은 물론 제품의 품질을 극대화함을 제공하도록, 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성시킬 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 내에 위치하도록 머리부가 형성되고, 상기 머리부의 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트의 토출로에 고정설치하도록 결합부가 형성되며, 상기 결합부의 외주연에는 상기 토출로로부터 수직으로 연통하여 유체공급이 가능하도록 제1노즐로가 형성되는 노즐부재와; 상기 노즐부재의 결합부에 결합하고 유체를 상기 노즐홈을 향해 분사할 수 있도록 둘레를 따라 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되며, 상기 노즐부재의 제1노즐로가 상기 노즐구에 연결되도록 상기 제1노즐로의 상측 선단으로 연통하는 제2노즐로가 형성된 와셔부재;를 포함하는 비접촉 평판 이송장치를 제공한다..
申请公布号 KR101273511(B1) 申请公布日期 2013.06.14
申请号 KR20110025516 申请日期 2011.03.22
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;B65G51/03;G02F1/13;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
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