磁盘用玻璃基板及磁盘

摘要

本发明涉及磁盘用玻璃基板及磁盘。本发明的课题在于提供一种在算术平均粗糙度(Ra)为0.1nm附近的水平、表面存在的缺陷非常少、适合作为高记录密度磁盘用的基板的磁盘用基板及其制造方法。本发明的磁盘用玻璃基板的特征在于，使用原子力显微镜以2μm×2μm见方、256×256像素的分辨率测定的玻璃基板的主表面的算术平均粗糙度(Ra)为0.12nm以下，使用一边向所述玻璃基板的主表面照射波长632nm的氦氖激光，一边扫描时的入射光和反射光之间的波长差检测出的、以俯视为0.1μm～0.6μm的大小，且0.5nm～2nm的深度检测出的缺陷每24cm2不足10个。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有：使用含添加剂的抛光液抛光玻璃基板的主表面的抛光工序；和使用含所述添加剂的洗涤液，洗涤经抛光的所述玻璃基板的洗涤工序；所述添加剂包含羧酸、多元胺、氨基酸、氨基多元羧酸、膦酸类、次膦酸、磷酸、焦磷酸、三聚磷酸、氨基三亚甲基膦酸、或它们的盐的至少一种；在所述抛光液中，在0.01重量%以上、10.0重量%以下的范围内含有所述添加剂，在所述洗涤液中，在0.01重量%以上、5.0重量%以下的范围内含有所述添加剂。