结合具有可选择离子的聚焦离子束柱使用的感应耦合等离子体离子源

摘要

本发明涉及结合具有可选择离子的聚焦离子束柱使用的感应耦合等离子体离子源。在等离子体腔中具有多种气体的感应耦合等离子体源向聚焦的柱提供多个离子种类。滤质器允许选择特定离子种类以及在各个种类之间快速地改变。

主权项

一种带电粒子束系统，所述带电粒子束系统包括：感应耦合的等离子体离子源；一种或多种气体源，其用于将多种气体提供到所述等离子体离子源，以从所述等离子体离子源同时产生多个离子种类；滤质器，所述滤质器用于从由所述等离子体离子源产生的多个离子种类选择离子种类；以及聚焦光学器件，所述聚焦光学器件在目标物处产生选定离子种类的聚焦束，所述束在所述目标物处具有亚微米的直径。