液晶曝光装置

摘要

本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。

主权项

一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造，将所述固定平台的分割面设置在所述固定平台的、与所述可动平台的移动方向成直角的方向上施加的弯曲力矩达到最小的位置，并且，所述弯曲力矩达到最小的位置位于所述固定平台的腿的位置与所述固定平台的中央部之间的位置。