一种能实现上、下进气切换的化学气相沉积炉及其应用

摘要

本发明涉及一种能够实现气体上、下进气切换的化学气相沉积炉及其应用，它包括炉体、沉积室、进气管和出气管，沉积室设置于炉体内；进气管包括上进气管和下进气管，出气管包括上出气管、下出气管和出气总管；所述的上进气管、下进气管上分别设置有控制阀门；所述的上出气管、下出气管分别设置有控制阀门。本发明克服了传统沉积方式因单一气流进出方式导致产品表面沉积涂覆不均匀的缺陷。

主权项

一种能实现上、下进气切换的化学气相沉积炉，包括炉体、沉积室、进气管和出气管，沉积室顶部有上通气口、底部有下通气口，沉积室设置于炉体内；其特征在于，沉积室下通气口的正下方设置有三通室，三通室为一个设置有上孔、下孔和侧孔的密闭腔室；三通室的上孔与沉积室的下通气口密闭连通，三通室的侧孔与下出气管口相对；沉积室上通气口接有上三通管，所述上三通管侧口与上通气口连接，所述上三通管下口接有引管，引管管口朝向并靠近炉壁；所述上三通管上口用于上进气管通入；进气管包括上进气管和下进气管，下进气管通过三通室的下孔伸入所述的三通室内与设置于三通室内的石墨进气管一端通过连接部件相连，石墨进气管另一端通过三通室的上孔并穿过沉积室下通气口伸入沉积室内；上进气管伸入炉体上部与所述的上三通管相连通；出气管包括上出气管、下出气管和出气总管，上出气管与炉体上部的炉壁相连并与上三通管中的靠近炉壁的管口相对，下出气管与炉体下部的炉壁相连并与三通室靠近炉壁的侧孔相对，上出气管和下出气管汇合成出气总管，出气总管与抽真空装置相连接；所述的上进气管、下进气管上分别设置有控制阀门；所述的上出气管、下出气管分别设置有控制阀门。