雷射干涉仪检测角度误差之装置与方法

摘要

一种雷射干涉仪检测角度误差之装置与方法，主要包括一个双光束雷射、多个角隅棱镜与反射镜，雷射干涉仪所射出的双光束，分别射入角隅棱镜后，产生反射光束至该反射镜，再经由该反射镜将各反射光束射至该角隅棱镜，最后会获得二位移量；当待测系统产生角度误差时，二位移量之数值会产生差异，将二位移量相减，就能得到相对之位移量，再透过三角函数计算，即可检测待测系统之俯仰度误差、偏摇度误差。