| 摘要 |
1. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO, включающий стадии, на которых:формируют смесь порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия;помещают порошковую формовку из смеси порошков внутрь контейнера, устанавливаемого внутри печи для спекания;повышают температуру порошковой формовки до температуры спекания не менее 1200°С, но не более 1500°С, с введением в то же время кислорода внутрь контейнера;поддерживают температуру спекания в состоянии, при котором внутрь контейнера вводят кислород; иснижают температуру внутри печи в состоянии, при котором прекращают введение кислорода внутрь контейнера.2. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaOпо п.1, в которомвеличина расхода потока кислорода, вводимого внутрь контейнера, составляет 20 л/мин или менее.3. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaOпо п.1, в которомколичество порошка оксида галлия в смеси составляет 2 вес.% или менее.4. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaOпо п.1, в которомконтейнер включает множество контейнеров, установленных внутри печи для спекания, таким образом, что порошковые формовки, каждую из которых помещают во множество контейнеров, подвергают спеканию одновременно.5. Спеченное изделие для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO, включающее спеченное изделие из смеси порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия, и имеющееотносительную плотность 98% или более,средний диаметр зерен 50 мкм или менее, иудельное электрическое сопротивление 2×10Ом·см или менее.6. Спеченное изделие для распыляемой мишени на |
