LASER MACHINING SYSTEM

摘要

Ein Laserbearbeitungssystem (100), das z.B. in einer Bandfertigungsanlage zur Herstellung von gedruckten elektronischen Bauelementen auf einem bandförmigen flexiblen Substrat in einem Rolle-zu-Rolle-Verfahren verwendet werden kann, hat ein gasdicht abschließbares Gehäuse (110), das eine Prozesskammer (112) umschließt, mindestens eine in der Prozesskammer angeordnete Substrathalteeinrichtung (120), die dafür eingerichtet ist, das Substrat (1 15) für eine Laserbearbeitung in einer Bearbeitungsposition innerhalb der Prozesskammer zu halten, und eine außerhalb des Gehäuses angebrachten Lasereinheit (140) mit einer Austrittsoptik (150) zur Abgabe eines auf das Substrat ausrichtbaren Laserstrahls, wobei ein für den Laserstrahl transparentes optisches Fenster (170) zum Einkoppeln des Laserstrahls in die Prozesskammer vorgesehen ist, welches die Prozesskammer von der Umgebung trennt. Die Austrittsoptik (150) der Lasereinheit (140) ist mit der Substrathalteeinrichtung (120) mechanisch starr gekoppelt und von dem Gehäuse (110) mechanisch entkoppelt.