| 发明名称 | 化学气相沉积的气体预热系统 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例提供一种用于化学气相沉积的气体预热系统。该系统包含一加热模块以及一传送模块。传送模块用于通过一种或多种气体，而加热模块透过传送模块间接加热于一种或多种气体。 | ||
| 申请公布号 | CN103132053A | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201210134425.2 | 申请日期 | 2012.05.03 |
| 申请人 | 绿种子科技（潍坊）有限公司 | 发明人 | 方政加;刘恒 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人 | 陈波;文琦 |
| 主权项 | 一种气体预热系统，用于一化学气相沉积，包含：一加热模块；以及一传送模块，用于通过一种或多种气体；其中所述加热模块透过所述传送模块，间接加热所述一种或多种气体。 | ||
| 地址 | 261061 山东省潍坊市玉清东街13159号801室 | ||