并行测量热载流子注入效应的电路

摘要

一种并行测量热载流子注入效应的电路，其特征在于，包括应力电压施加单元和由多个DUT(Device Under Test)单元组成的DUT单元列，其中所述应力电压施加单元可向所述DUT单元施加不同的应力。本发明对多个DUT分别施加不同应力电压，从而可同时对多个DUT进行并行的热载流子测试，因此效率较高。

主权项

一种并行测量热载流子注入效应的电路，其特征在于，包括应力电压施加单元和由多个DUT单元组成的DUT单元列，其中所述应力电压施加单元可向所述DUT单元施加不同的应力；其中，所述DUT单元包括选择端、栅极端、漏极端、衬底端及接地端；所述栅极端连接至DUT的栅极，所述漏极端连接至DUT的漏极，所述衬底端连接至DUT的衬底，所述接地端连接至DUT的源极；并且所述DUT单元还包括传输门，所述传输门用来控制栅源电压是否加载到DUT的栅极上，由所述选择端来控制；各所述DUT单元列的选择端均串联到同一个选择线，以同时测量所述DUT单元列中的各DUT的电学参数值。