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发明名称 Method and apparatus for heat treatment of semiconductor films
摘要
申请公布号 EP1271620(B1) 申请公布日期 2013.05.29
申请号 EP20010420142 申请日期 2001.06.21
申请人 KIM, HYOUNG JUNE 发明人 KIM, HYOUNG JUNE
分类号 H01L21/67;H05B6/10;C30B25/10;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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