| 摘要 |
<p>본 발명은 내부에 처리액이 수용되고, 기판이 수납되기 위한 캐리어가 구비되는 처리조와, 상기 캐리어를 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 슬라이드 이동부와, 상기 처리조의 상부에 설치되어 개별 기판을 적재하는 그립과, 상기 기판이 캐리어의 입구 측을 향하도록 그립을 회전시키는 회전구동부와, 상기 그립을 승강시켜 적재된 기판을 캐리어의 내부에 수납시키거나 캐리어의 내부에 수납된 기판을 인출하는 승강구동부와, 상기 처리조의 상부 일측에 설치되어 처리조에서 오버플로우되는 처리액을 필터링하는 오버플로우 필터와, 상기 처리조의 내부 하부측에 설치되어 처리액을 공급하되, 오버플로우 필터 측으로 처리액을 공급하도록 일정각도 경사지게 설치되는 처리액 공급부를 포함하되, 상기 처리액 공급부는 다수의 오리피스가 구비된 튜브 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 수납슬롯이 처리조의 수평 방향에 위치되도록 캐리어를 처리조의 내부에 배치하고 그립에 의해 개별 기판을 수납 또는 인출함으로써, 처리액에 이미 침전되어 있던 기판들이 노출되지 않으면서 기판을 개별로 수납 또는 인출할 수 있는 효과가 있다.</p> |
