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发明名称 BARRIER SLURRY FOR LOW-K DIELECTRICS
摘要
申请公布号 EP2356192(A4) 申请公布日期 2013.05.22
申请号 EP20090814870 申请日期 2009.09.03
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 LI, SHOUTIAN;GRUMBINE, STEVEN;DYSARD, JEFFREY;SINGH, PANKAJ
分类号 C09K3/14;C09K13/00;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
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