下一代网印系统

摘要

本发明之实施例提供一使用多网印腔室处理系统处理基板的设备及方法，其具有增加的系统产量、改善的系统可用时间、及改善的装置产量效能，同时在已处理的基板上维持可重复且准确的网印制程。在一实施例中，该多网印腔室处理系统适于在一部分的多晶矽太阳电池生产线内部执行网印制程，其中基板系以所需的材料图案化，而后在一或多个后续的处理腔室中处理。