一种PECVD设备及应用于其反应腔内的天线

摘要

本实用新型公开了一种应用于PECVD设备的反应腔内的天线，包括管部和天线部，所述天线部的头部插于底部内，所述管部和天线部均为金属材质，所述天线部表面镀有不易氧化的金属层。本实用新型可以避免在微波导波过程中，天线因表面氧化造成与铜管接触不良产生放电的现象，减小设备故障率。

主权项

一种应用于PECVD设备的反应腔内的天线，包括管部和天线部，所述天线部的一端插于管部内，所述管部和天线部均为金属材质，其特征在于，所述天线部表面镀有不易氧化的金属层。