磷扩散炉抽风管缓冲箱

摘要

本发明公开了一种磷扩散炉抽风管缓冲箱，包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。本发明的缓冲箱密封门上设有导流结构引导空气进入，因而，可以利用自然空气冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层。从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。

主权项

磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于：包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。